石墨烯传感材料与器件山西省重点实验室
石墨烯传感材料与器件山西省重点实验室于2024年8月经山西省科技厅批准建设，由中北大学、北京石墨烯研究院、山西新美微电子科技有限公司联合共建，形成了石墨烯传感材料与制备、石墨烯力热传感器件、石墨烯光电磁传感器件、传感器工程化与应用等研究方向，主要聚焦石墨烯传感器相关的薄膜制备、器件开发、工程化应用等领域，为我省碳基新材料产业和半导体产业向更深、更广的维度发展提供有力保障。
山西省微纳制造与传感技术工程研究中心
山西省微纳制造与传感技术工程研究中心是经山西省发改委2022年1月批准成立的省级重要科研平台，依托国家自然科学基金委创新群体、科技部创新领军团队及山西省科技创新领军团队等优质资源，聚焦微纳制造与传感技术领域核心关键技术攻关。中心立足山西省转型综改和军民融合发展战略需求，以成熟硅基工艺体系为基础，重点开展碳化硅、蓝宝石、铁电、玻璃等特种材料的微纳制造工艺研究，创新研发具有新型敏感原理与结构形式的智能传感器件，并着力突破异质集成系统封装等关键技术瓶颈。通过构建集技术研发、产品中试、成果转化、人才培养于一体的全链条创新平台，中心已自主研发多款具有自主知识产权的高性能传感器产品，有效破解多项"卡脖子"技术难题。中心深度对接国家载人航天、深空探测等重大工程需求，同步为山西省半导体产业和信创产业提供技术赋能与人才支撑，加速产业链协同创新与新兴产业集聚，为山西省经济转型发展及国家重大战略实施提供坚实保障。
山西省量子传感与精密测量工程研究中心
量子传感与精密测量工程研究中心于2022年1月经山西省发改委批准成立，经过近五年的建设，形成了量子传感与系统、光子器件与系统、量子精密测量仪器、微纳器件与导航系统、量子功能材料与器件等研究方向，重点开展传感系统制造、精密测量仪器开发、力/磁/热等高精密物理量测量等研究工作，从而推动我省及至全国信息技术产业、新材料产业、高端仪器装备制造业等新兴产业发展。
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