School of Instrument and Electronics
时间：2017/11/02 发布人：
设备名称
4156C精密半导体参数分析仪
设备型号
Agilent 4156C
设备功能
半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数（I-V& C-V）测试、实时绘图与分析，具有高精度和fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果，能执行半导体器件、材料和工艺的综合电气特性分析。
技术指标
填空式前面板操作，包括Desktop Easy EXPERT软件，可在PC上通过GUI对仪器进行控制；
4×高分辨率SMU、2×VSU和2×VMU；
电流、电压分辨率1fA和0.2mV；
可选的41501B可提供+/—200V和+/—1A大功率SMU、脉冲发生器功能。
Agilent 4284A精密LCR测试仪
4284A
该仪器在测试元件时符合最通行的测试标准IEC/MIL标准（国际电工委员会或美国军用标准），在20Hz到1MHz宽的测频范围，测试材料的电导率ρ、介电常数ε、电阻R、电抗X、阻抗Z、导纳Y、电导G、电纳B、电感L、介电损耗D、品质因数Q等电学参数，来研究材料的电学性能。
可测参数：|z|-θ，|Y|-θ，R-X，G-B，C-D，ESR，G，Rp，L-D，ESR，G；
测量电路模式：串联和并联；
量程转换：自动和手动；
触发：内部、外部和总线（HP-IB）；
延迟时间：0-60.00s以1ms步进；
测量终端：四端对；
测试电缆长度：标准：0和1m；带选件006时：0、1、2、4m；
积分时间：短、中等、长；
取平均：1-256可程控；
带宽：20Hz-1MHz。
激光器
E15系列K80-150-14
提供窄线宽光源
中心波长：1550nm；
线宽：100Hz；
扫频系数：15MHz/V；
PZT电压：；
功率范围：0.02mW~45.5mW。
频谱仪
PXA Signal Analyzer N9030A
用于射频和微波信号的频域分析，包括测试信号功率，频率，失真产物等。
带宽：3Hz-26.5GHz
示波器
Tektronix DPO4104B
将看不见的电信号转换成看得见的图像，可以观察各种不同信号幅度随时间变化的波形曲线，还可以测试各种不同的电量，如电压、电流、频率、相位差、调幅度等。
带宽：1GHz；
采样率：5GSa/s，10M/CH；
四通道信号输入。
矢量水听器校准系统
形成驻波场，可完成对矢量水听器性能测试、校准，如测试水听器的灵敏度、指向性、副频和相频曲线等。
校准测试频率范围：20Hz~2kHz；
声管中声场的径向声压起伏小于0.5dB；
回转轴旋转角度：0°~360°；
具有自动升降系统。
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