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目前已形成了包括本科、硕士、博士在内的较完整的人才培养体系。可授予学位的学科情况如下表:
| 一级学科名称 |
二级学科名称 |
研究方向 |
| 仪器科学与技术 |
精密仪器及机械 |
微米纳米器件与系统 |
| 惯性感知与测控技术 |
| 测试计量技术及仪器 |
微纳仪器及测试技术 |
| 微系统及集成技术 |
| 微纳技术及仪器 |
微系统集成 |
| 晶体电子学 |
| 电子科学与技术 |
物理电子学 |
薄膜器件 |
| 微光机电技术 |
| 电路与系统 |
电路系统检测与诊断技术 |
| 微电路系统 |
| 微电子学与固体电子学 |
微器件的设计与制造 |
| 混合电路集成技术 |
| 电磁场与微波技术 |
微波毫米波测量技术及仪器 |
| 无线传感技术 |
| 计算机科学与技术 |
计算机系统结构
计算机软件与理论
计算机应用技术 |
图像处理与图像重建 |
| 智能信息处理 |
| 嵌入式信息系统 |
| CAD/CAM |
| 软件设计方法 |
| 模式识别与智能诊断 |
| 网络技术及应用 |
| 仿真与多媒体技术 |
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