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    目前已形成了包括本科、硕士、博士在内的较完整的人才培养体系。可授予学位的学科情况如下表:
一级学科名称 二级学科名称 研究方向
仪器科学与技术 精密仪器及机械 微米纳米器件与系统
惯性感知与测控技术
测试计量技术及仪器 微纳仪器及测试技术
微系统及集成技术
微纳技术及仪器 微系统集成
晶体电子学
电子科学与技术 物理电子学 薄膜器件
微光机电技术
电路与系统 电路系统检测与诊断技术
微电路系统
微电子学与固体电子学 微器件的设计与制造
混合电路集成技术
电磁场与微波技术 微波毫米波测量技术及仪器
无线传感技术
计算机科学与技术 计算机系统结构
计算机软件与理论
计算机应用技术
图像处理与图像重建
智能信息处理
嵌入式信息系统
CAD/CAM
软件设计方法
模式识别与智能诊断
网络技术及应用
仿真与多媒体技术